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一种P型超大晶粒多晶硅太阳电池表面织构的制造方法

摘要

本发明公开了一种P型超大晶粒多晶硅太阳电池表面织构的制造方法,按如下步骤操作:(a)将超大晶粒多晶硅清洗干净,烘干后,采用各向导性腐蚀方法,放入各向异性腐蚀液中进行腐蚀,各向异性腐蚀后的硅片腐蚀深度为3~10um;(b)对于硅片小晶粒部分,采用各向同性腐蚀方法,将硅片放入各向同性腐蚀液进行腐蚀,各向同性腐蚀后的硅片总的腐蚀深度为5~15um。本发明的表面织构方法,一方面大大降低了硅片的反射率,另一方面避免了大晶粒多晶硅绒面不均匀,色差明显的问题。超大晶粒部分和边缘小晶粒部分颜色差异降低,反射率相近,并且两者都接近单晶制绒后的反射率,光吸收效果好。

著录项

  • 公开/公告号CN102185028B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-04-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江昱辉阳光能源江苏有限公司;

    申请/专利号CN201110086316.3

  • 发明设计人 袁红霞;王立建;李潘剑;

    申请日2011-04-07

  • 分类号

  • 代理机构北京集佳知识产权代理有限公司;

  • 代理人王宝筠

  • 地址 214200 江苏省无锡市江苏宜兴经济开发区庆源大道(东)27号

  • 入库时间 2022-08-23 09:18:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-04-16

    授权

    授权

  • 2012-07-11

    著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/18 变更前: 变更后: 申请日:20110407

    著录事项变更

  • 2012-02-08

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/18 申请日:20110407

    实质审查的生效

  • 2011-09-14

    公开

    公开

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