公开/公告号CN102787301B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院光电技术研究所;
申请/专利号CN201210255436.6
申请日2012-07-23
分类号
代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司;
代理人成金玉
地址 610209 四川省成都市双流350信箱
入库时间 2022-08-23 09:18:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-26
授权
授权
2013-01-16
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/54 申请日:20120723
实质审查的生效
2012-11-21
公开
公开
机译: 离子镀膜装置及通过蒸镀/蒸镀膜的膜厚的沉积以及通过离子镀膜控制成分分布的方式
机译: 镀膜和半导体光学器件的膜厚设计方法
机译: 利用光学膜厚控制方式和光学膜厚控制单元以及上述光学膜厚控制方式,制成由