一种利用镀膜技术辅助获得高精度刃口微型刀具的方法

摘要

本发明属于复杂微纳结构和器件的加工制造技术领域，涉及一种利用镀膜技术辅助获得高精度刃口微型刀具的方法，包括以下步骤：在聚焦离子束真空样品室内，利用聚焦离子束对微刀具毛坯进行粗加工，加工出刀具前刀面；利用聚焦离子束铣削方法对前刀面精修抛光；对加工后的微刀具的前刀面进行镀膜处理；将镀膜后的微刀具放进聚焦离子束真空样品室内，依据刃口形状和尺寸要求，利用聚焦离子束铣削加工出微刀具的后刀面和侧刀面。本发明提出的方法精度高、可重复性强、适用于多种材料和不同刀具形状。