多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量激光入射角度的装置及方法

摘要

多普勒振镜正弦调制多光束激光外差二次谐波测量激光入射角度的装置及方法，它涉及一种测量激光入射角度的装置及方法。它为解决现有激光外差动态测角法在测量激光入射角度时存在采集激光差频信号质量差和信号处理的运算速度慢的问题而提出。振镜做简谐振动；打开激光器；通过信号处理系统连续采集光电探测器输出的电信号，并对采集到的差频信号进行处理，根据激光外差信号的频率与激光入射至已知厚度的玻璃板的折射角的比例系数，获得待测的入射角。它具有采集激光差频信号质量高，信号处理的运算速度快的优点。它可广泛应用于超精密测量、检测、加工设备、激光雷达系统。