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双层涂布的负性光致抗蚀干膜

摘要

本发明提供了一种应用于印刷线路板的双层涂布的负性光致抗蚀干膜,包括载体薄膜、覆盖薄膜、光阻剂层及中间保护层,其特征在于:中间保护层位于载体薄膜及光阻剂层之间,是无色透明的,在光阻剂层的显影液中可溶解,与光阻剂层及载体薄膜具有良好的粘着力,但其与光阻剂层的粘着力要大于其与载体薄膜的粘着力的聚乙烯醇或含有羧基的高分子聚合物;光阻剂层的组份中含有高分子粘合剂、光游离基引发剂、可加聚单体、热聚合抑制剂,为进一步改善性能,还可以添加其它组分,如增塑剂、染料、增粘剂等。可以降低了载体薄膜的成本,使光阻干膜的解析度得以提高。

著录项

  • 公开/公告号CN102799070B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-03-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 珠海市能动科技光学产业有限公司;

    申请/专利号CN201210308978.5

  • 发明设计人 陆德凯;杨卫国;董岩;

    申请日2012-08-27

  • 分类号

  • 代理机构上海天翔知识产权代理有限公司;

  • 代理人黄静

  • 地址 519150 广东省珠海市高栏港经济区口岸大厦312房

  • 入库时间 2022-08-23 09:18:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-03-05

    授权

    授权

  • 2013-01-23

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/11 申请日:20120827

    实质审查的生效

  • 2012-11-28

    公开

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