公开/公告号CN102799070B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-03-05
原文格式PDF
申请/专利权人 珠海市能动科技光学产业有限公司;
申请/专利号CN201210308978.5
申请日2012-08-27
分类号
代理机构上海天翔知识产权代理有限公司;
代理人黄静
地址 519150 广东省珠海市高栏港经济区口岸大厦312房
入库时间 2022-08-23 09:18:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-03-05
授权
授权
2013-01-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/11 申请日:20120827
实质审查的生效
2012-11-28
公开
公开
机译: 用于保护性干膜光致抗蚀材料的装置
机译: 负性工作光致无能产生可变的抗光蚀剂
机译: 负性光致抗蚀树脂组合物