具有可拆卸的小透镜阵列的夏克哈特曼传感器

摘要

一种夏克哈特曼(“SH”)波前传感器，包括诸如波前析象管的光学装置、光学系统和可拆卸的运动学支架，光学装置包括小透镜阵列，例如用于透射、分析和聚焦入射光波，光学系统包括例如光学传感器，用于接收透射的入射光波，可拆卸的运动学支架用于将光学装置可重复地精密安装到光学系统。