使用复杂二维交织方案的图像读取和写入

摘要

本发明涉及在表面上写入或读取图案，诸如，在微光刻或微光刻图案的检查中。特别地，申请人公开了通过跨越表面扫描稀疏2D点阵列或栅格来记录或读取图像的系统，例如，通过并行调制的多个光学、电子或粒子束。扫描和重复读取或写入在工件上创建了密集的像素或斑点栅格。可以通过各种阵列创建该栅格：光源阵列，例如激光器或LED阵列；通过小透镜阵列，其中每个小透镜具有其自己的调制器；通过用于粒子束的孔径板；或者近场发射器或机械探针阵列。对于读取系统，点栅格可以通过稀疏点矩阵照明和/或探测器阵列创建，其中每个探测器元件仅看到一个斑点。使用大阵列背后的想法是提高吞吐量。然而，吞吐量在阵列尺寸大于阵列的一定尺寸之后，就不再随阵列尺寸成比例变化，先前已知的方案落入了它们自身的轨迹中，并开始不断地重复相同的数据。本申请公开了利用大阵列扫描工件的方法，同时保持吞吐量与阵列尺寸成比例变化，甚至对于很大的矩阵也如此，事实上几乎没有限制。