法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 18/38 授权公告日:20140312 终止日期:20140720 申请日:20110720
专利权的终止
2014-03-12
授权
授权
2012-01-11
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 18/38 申请日:20110720
实质审查的生效
2011-11-30
公开
公开
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