一种用于多种高纯度含氟电子气体分析的气相色谱阀路系统及其使用方法

摘要

本发明公开了一种用于多种高纯度含氟电子特气分析的气相色谱阀路系统及其使用方法。具体包括2个四通阀、2个十通阀、1个八通阀、1个定量环、4根色谱柱、14个压力平衡调节阀和1个放电离子化检测器，系统载气为高纯氦气。本发明采用五阀四柱的阀路系统，一次进样可完成多种气相杂质的测定。该阀路系统操作方便，适用于高纯度含氟电子气体领域工业化生产中使用。