低惯性多轴多方向机械扫描离子注入系统

摘要

本发明提供了一种被配置用于制造离子束(210)的离子注入系统(100)，其中，末端站(216)具有机器人构造(250)，所述机器人构造(250)具有至少四个自由度。被可操作地连接至机器人构造的末端执行器(229)选择性地抓紧工件(228)以及使工件(228)平移通过离子束。机器人构造具有可操作地连接至末端站的多个电机(254)，每个电机具有旋转轴(256)。每个旋转轴的至少一部分通常位于末端站内，多个电机中的每个电机具有分别与之相关联的连杆组件(252)，其中每个连杆组件分别具有曲轴臂(258)和支柱(260)。每个连杆组件的曲轴臂被固定地连接至各自的旋转轴，以及每个连杆组件的支柱在第一接头(262)处被枢转地连接至各自的曲轴臂，并且在第二接头(264)处被枢转地连接至末端执行器。