公开/公告号CN102288104B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-02-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201110206449.X
申请日2011-07-22
分类号G01B9/02(20060101);G01B11/00(20060101);
代理机构31213 上海新天专利代理有限公司;
代理人张泽纯
地址 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱
入库时间 2022-08-23 09:17:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-02-12
授权
授权
2012-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 9/02 申请日:20110722
实质审查的生效
2011-12-21
公开
公开
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