公开/公告号CN102540345B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-02-26
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201210074752.3
申请日2012-03-20
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:17:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-05-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 6/293 授权公告日:20140226 终止日期:20150320 申请日:20120320
专利权的终止
2014-02-26
授权
授权
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/293 申请日:20120320
实质审查的生效
2012-07-04
公开
公开
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