基于气磁零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台

摘要

基于气磁零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间水平位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由气磁式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。