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基板搬送装置及基板支承体

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本发明提供一种基板搬送装置，即使在搬送大型基板时，也能够将基板保持在基本水平的状态。就拾取部(202)来说，在其基端部，使用沿垂直方向牵引该拾取部的牵引螺钉(210)以及在垂直方向按压拾取部(202)的按压螺钉(211)，将该拾取部固定在拾取部基部(201)上，从其基端部侧朝向前端部侧与水平轴形成规定的角度向斜上方延伸，前端部的高度位置位于高于其基端部(由拾取部基部(201)形成的支承端)的位置上。

著录项

公开/公告号CN1994841B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-02-12

原文格式PDF
申请/专利权人东京毅力科创株式会社;
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申请/专利号CN200710001578.9
发明设计人冈部星儿;天野健次;
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申请日2007-01-08
分类号
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:17:22

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-02-12

授权

授权
2007-09-05

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-07-11

公开

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