无弧斑的真空电弧离子镀膜方法

摘要

一种无弧斑的真空电弧离子镀膜技术，将无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源安装在真空度为10-10^-3Pa的真空镀膜室内，配置大直流电流弧电源，一般可达2000A，通电后，在这种大电流加热条件下，使阴极区从有斑冷阴极电弧向无斑热阴极扩散型电弧转化，产生无液滴、高电离度、高密度的金属蒸气等离子体射向阴极对面的工件，可实现离子镀膜。