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公开/公告号CN1118682C
专利类型发明授权
公开/公告日2003-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 北京科大天宇微电子材料技术开发有限公司;
申请/专利号CN01102651.0
发明设计人 田跃;鲁武军;邱宏;黄筱玲;潘礼庆;
申请日2001-02-08
分类号G01C9/12;
代理机构北京科大华谊专利代理事务所;
代理人刘月娥
地址 100083 北京市北京科技大学科技楼105室
入库时间 2022-08-23 08:56:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-04-13
专利权的终止未缴年费专利权终止
2003-08-20
授权
2001-06-27
公开
2001-05-30
实质审查请求的生效
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