法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-26
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 33/50 授权公告日:20140101 终止日期:20161209 申请日:20111209
专利权的终止
2014-01-01
授权
授权
2014-01-01
授权
授权
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 33/50 申请日:20111209
实质审查的生效
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 33/50 申请日:20111209
实质审查的生效
2012-06-27
公开
公开
2012-06-27
公开
公开
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机译: 化学放大的正型抗蚀剂组合物,图案形成方法和具有交联基团的聚合物的制备方法
机译: 化学放大的正型抗蚀剂组合物,图案形成方法和具有交联基团的聚合物的制备方法
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