周期性结构的非破坏性分析方法

摘要

本发明提供一种周期性结构的非破坏性分析。在该方法中，设置虚拟周期性结构并将其划分成多层。通过利用李普曼-薛定谔方程以及M次插值，计算与所述虚拟周期性结构的反射率或透射率有关的物理性质。在对李普曼-薛定谔方程的离散化中采用的M次插值公式使得能够准确快速地计算周期性结构的物理性质。