法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-11
授权
授权
2011-10-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20110127
实质审查的生效
2011-08-31
公开
公开
机译: 晶圆载体清洗设备,包括该晶圆载体的自动机械处理系统以及在集成电路制造过程中处理晶圆载体的方法
机译: 晶圆支架清洗装置,包括该晶圆支架的自动机械处理系统以及在集成电路制造过程中处理晶圆支架的方法
机译: 晶圆支架清洗装置,包括该晶圆支架的自动机械处理系统以及在集成电路制造过程中处理晶圆支架的方法