公开/公告号CN101515498B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-12-11
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
申请/专利号CN200810057830.2
申请日2008-02-18
分类号H01F5/00(20060101);H01F38/14(20060101);H05H1/46(20060101);H05H1/50(20060101);H01L21/306(20060101);
代理机构11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司;
代理人张天舒;陈源
地址 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层
入库时间 2022-08-23 09:16:41
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-02
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01F 5/00 变更前: 变更后: 申请日:20080218
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2013-12-11
授权
授权
2013-12-11
授权
授权
2009-10-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-10-21
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-26
公开
公开
2009-08-26
公开
公开
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机译: 电感耦合线圈和使用该电感耦合线圈的电感耦合等离子体装置
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