铝铈金属靶材及利用该铝铈金属靶材制作铝铈膜的方法

摘要

本发明提供一种铝铈金属靶材。该铝铈金属靶材包括一铝板和若干铈块，该铝板上设有若干通孔，该若干铈块镶嵌于该若干通孔内。本发明将铈块以镶嵌的方式安装于铝靶上，通过对通孔的数量的设置而较易改变靶材中的元素的比例，从而，更加灵活控制铝铈金属膜层性能，该铝铈金属靶材加工成本低，工艺简单。此外，本发明还提供一种利用所述铝铈金属靶材制作一铝铈膜的方法。