通过紫外光辐射改善致密和多孔有机硅酸盐材料的机械性能

摘要

涉及通过紫外光辐射改善致密和多孔有机硅酸盐材料的机械性能。一种低介电材料和包含该低介电材料的薄膜，当在集成电路中用作为层间电介质时，具有改善性能，以及制备该材料和薄膜的方法。在本发明的一方面，有机硅酸盐玻璃薄膜被暴露在紫外光源下，其中该薄膜在曝光后，其机械性能(例如材料硬度和弹性模量)至少比沉积的薄膜要提高10％或更多。