公开/公告号CN101893824B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-10-09
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;
申请/专利号CN201010178168.3
申请日2010-05-13
分类号
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司;
代理人郑小军
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:16:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-10-09
授权
授权
2012-03-14
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/038 申请日:20100513
实质审查的生效
2010-11-24
公开
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