公开/公告号CN102031486B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-09-25
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社日立高新技术;
申请/专利号CN201010264455.6
申请日2010-08-26
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人张敬强
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:16:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-10-28
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 授权公告日:20130925 终止日期:20140826 申请日:20100826
专利权的终止
2013-09-25
授权
授权
2011-06-15
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20100826
实质审查的生效
2011-04-27
公开
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