公开/公告号CN102324383B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-10-16
原文格式PDF
申请/专利权人 汉辰科技股份有限公司;
申请/专利号CN201110257313.1
申请日2007-09-27
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陆勍
地址 中国台湾新竹县宝山乡新竹科学工业园区研新一路18号5楼
入库时间 2022-08-23 09:16:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-10-16
授权
授权
2012-03-14
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/265 申请日:20070927
实质审查的生效
2012-01-18
公开
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机译: 使用线性扫描电机的离子束注入器的可调整植入角度角工件支撑结构
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