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具有微封装的电磁辐射检测器和使用这种检测器检测电磁辐射的器件

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摘要

电磁辐射检测器由多个单位检测微部位构成，每个微部位包括具有对所讨论的辐射灵敏的膜(2)的微检测器，并且每个微部位设置于由衬底(1)、用作对所述辐射透明的窗口的上壁(5)和侧壁(4)限定的微腔或者微囊中，所述膜(2)借助包括导电层(17)的至少两个支撑臂(6)来悬置于衬底(1)上方，其中所述臂(6)的端部锚定于侧壁(4)中。

著录项

公开/公告号CN102124311B

专利类型发明专利
公开/公告日2013-10-16

原文格式PDF
申请/专利权人 ULIS股份公司;
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申请/专利号CN200980131700.1
发明设计人米歇尔·维兰;
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申请日2009-10-06
分类号G01J5/20(20060101);H01L31/0203(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人李春晖;李德山
地址法国弗雷沃鲁瓦泽
入库时间 2022-08-23 09:16:02

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-10-16

授权

授权
2011-08-24

实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 5/20 申请日:20091006

实质审查的生效
2011-07-13

公开

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1. 具有微封装的电磁辐射检测器和使用这种检测器检测电磁辐射的器件 [P] . 中国专利： CN102124311B . 2013.10.16
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