公开/公告号CN101560639B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 爱德牌工程有限公司;
申请/专利号CN200810180037.1
申请日2008-11-20
分类号C23C14/24(20060101);C23C14/06(20060101);C23C14/54(20060101);H01L51/56(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人黄纶伟
地址 韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 09:15:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 授权公告日:20131002 终止日期:20161120 申请日:20081120
专利权的终止
2013-10-02
授权
授权
2013-10-02
授权
授权
2009-12-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-10-21
公开
公开
2009-10-21
公开
公开
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