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一种氧化锌铝溅射靶材的制造方法

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本发明公开了一种高密度低成本氧化锌铝溅射靶材的生产方法，以ZnO粉体和Al₂O₃粉体组成主原料；将纯水、甲基丙烯酰胺单体、N-N’亚甲基双丙烯酰胺充分溶解组成预混液，加入四甲基氢氧化氨等分散剂，加入粉体原料搅拌制浆，调pH值，球磨6小时以上得到浆料；浆料加入有机脱气剂和过硫酸氨引发剂经抽真空搅拌脱气后浇注入模具；将模具升温至50-70℃，引发凝胶单体交联固化反应；固化后的湿坯脱模干燥得到靶材素坯；将素坯在流通空气炉中脱粘、高温烧结、机械加工，制造出相对密度大于98％和化学组成及微观结构均匀的氧化锌铝溅射靶材。

著录项

公开/公告号CN102212781B

专利类型发明专利
公开/公告日2013-09-11

原文格式PDF
申请/专利权人孔伟华;
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申请/专利号CN201110118678.6
发明设计人孔伟华;
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申请日2011-05-10
分类号C23C14/08(20060101);C23C14/35(20060101);
代理机构11348 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人蒋常雪
地址 214000 江苏省南京市江宁区滨江开发区盛安大道739号
入库时间 2022-08-23 09:15:55

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2018-06-15

专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):C23C 14/08 授权公告日:20130911 登记号:2016990000723 出质人:南京迪纳科材料发展股份有限公司质权人:南京银行股份有限公司珠江支行解除日:20180522 申请日:20110510

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-12

专利权质押合同登记的变更 IPC(主分类):C23C 14/08 登记号:2016990000723 变更日:20180518 变更前: 变更后: 申请日:20110510

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-06-12

专利权质押合同登记的变更 IPC(主分类):C23C 14/08 登记号:2016990000723 变更日:20180518 变更前: 变更后: 申请日:20110510

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-12-21

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/08 变更前: 变更后: 申请日:20110510

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-12-21

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/08 变更前: 变更后: 申请日:20110510

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-12-21

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/08 变更前: 变更后: 申请日:20110510

专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 登记号:2016990000723 登记生效日:20160819 出质人:南京迪纳科光电材料有限公司质权人:南京银行股份有限公司珠江支行发明名称:一种氧化锌铝溅射靶材的制造方法授权公告日:20130911 申请日:20110510

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 登记号:2016990000723 登记生效日:20160819 出质人:南京迪纳科光电材料有限公司质权人:南京银行股份有限公司珠江支行发明名称:一种氧化锌铝溅射靶材的制造方法授权公告日:20130911 申请日:20110510

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2016-09-21

专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 登记号:2016990000723 登记生效日:20160819 出质人:南京迪纳科光电材料有限公司质权人:南京银行股份有限公司珠江支行发明名称:一种氧化锌铝溅射靶材的制造方法授权公告日:20130911 申请日:20110510

专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2014-04-02

专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/08 变更前: 变更后: 登记生效日:20140310 申请日:20110510

专利申请权、专利权的转移
2014-04-02

专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/08 变更前: 变更后: 登记生效日:20140310 申请日:20110510

专利申请权、专利权的转移
2014-04-02

专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/08 变更前: 变更后: 登记生效日:20140310 申请日:20110510

专利申请权、专利权的转移
2013-09-11

著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/08 变更前: 变更后: 申请日:20110510

著录事项变更
2013-09-11

授权

授权
2013-09-11

著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/08 变更前: 变更后: 申请日:20110510

著录事项变更
2013-09-11

授权

授权
2013-09-11

授权

授权
2013-09-11

著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/08 变更前: 变更后: 申请日:20110510

著录事项变更
2011-11-30

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 申请日:20110510

实质审查的生效
2011-11-30

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 申请日:20110510

实质审查的生效
2011-11-30

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 申请日:20110510

实质审查的生效
2011-10-12

公开

公开
2011-10-12

公开

公开
2011-10-12

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