微细加工中用于制造填充有液体并由薄膜封闭的围室的改良方法

摘要

本发明有关于一种微细加工中用于制造包括填充有至少一种液体并由以一弹性材料为基础的至少一挠性薄膜来封闭的至少一封闭围室的装置的方法，其中所述方法包含以下步骤：a)在一基板(100)上沉积至少一种呈液态形式且能够在液态与固态之间相互转换的特定材料；b)使所述特定材料(130)至少部分凝固；c)在低压沉积一弹性材料在固化的材料上以形成一薄膜，所述薄膜及基板形成至少一填充有特定材料的封闭围室；d)使特定材料(130)熔化以使其在封闭围室内再次液化。