一种装有保温内桶的周期交替操作的多晶硅还原炉及操作方法

摘要

本发明公开了一种装有保温内桶的周期交替操作的多晶硅还原炉，在还原炉内安装保温内桶，保温内桶为圆柱状，桶顶在与底盘通气口对应的位置开有小孔，保温内桶的材料为碳-碳复合材料，不锈钢或者石墨，保温内桶的外径较还原炉内壁直径小10-30cm，保温内桶高度较硅棒高度高约10-50cm，内桶的壁厚为5-10cm，通过螺栓固定在底盘上。保温内桶的外壁连接有不锈钢板或者石墨板，不锈钢或石墨板沿保温内桶外壁从保温内桶底部盘旋至保温内桶顶部呈螺旋状，螺距为500cm-1500cm，不锈钢或石墨板的宽为5cm-30cm，不锈钢或石墨板的厚度为5-20mm。保温内桶本身具有隔热的作用，以及环隙气体与保温内桶内的气体形成对流传热有利于气体对热量的吸收，使得钟罩内壁的温度低于575℃，有利于壁面的保护。