多晶硅还原炉及多晶硅还原炉内壁安装镜面的操作方法

摘要

本发明公开的多晶硅还原炉及多晶硅还原炉内壁安装镜面的操作方法，炉体上装有两道门，两道门围起的空间形成圆柱形炉体上的一个凸起；炉内底盘上贴近炉体内壁处沿炉体一周设有凹槽，对应地，还原炉内壁中间高度处沿炉体一周设有T形凹槽，两圈凹槽形成两条对应的轨道。每一块经高度抛光的镜面下端装有两个小滑轮，镜面与炉内壁固定的一面中间高度处设计有一个T形凸起结构，T形凸起结构的下端也装有两个小滑轮，镜面的T形凸起与与炉体内壁的T形凹槽相吻合；镜面可以要通过炉内轨道方便地安装在还原炉内壁上。这样的设计能够降低还原炉能耗，同时避免了对炉体内壁进行打磨抛光的和吊装炉体的繁重工序，降低了多晶硅还原炉的生产成本。