供气装置和用于在供气装置中净化气体的方法

摘要

本发明提出一种供气装置，它包括供气喷嘴，经过供气喷嘴，进来的气体被引导到混合腔室中且进一步被引导到空间中，使得该进来的气体诱导来自该空间的循环或二次气流；和电子颗粒过滤器和电/槽气体过滤器，循环或二次气流被引导经过该过滤器。