法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-08-07
授权
授权
2011-04-13
实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/377 申请日:20090313
实质审查的生效
2009-09-16
公开
公开
机译: 产生激光束高次谐波的装置,使用相同光束的曝光装置,产生激光束高次谐波的方法,使用相同光束的曝光方法以及使用相同光束的器件制造方法
机译: 高次谐波特别是电流的计量方法以及用于测量高次谐波特别是电流的传感器
机译: 高次谐波对策装置,具有高次谐波对策装置的制冷循环装置及电流检测器的连接状态的检测方法