虚拟合成波长链绝对距离干涉测量方法及实现装置

摘要

本发明属于绝对距离测量技术领域，涉及虚拟合成波长链绝对距离干涉测量方法及实现装置。用在一条直线上的两个双光束干涉仪，由压电陶瓷调制，采用可调谐激光器，实现了在波长调谐的同时测量波长值和单波长的干涉信号相位，计算得到虚拟合成波干涉条纹的小数级次。通过调谐激光器得到了一系列由大到小的虚拟合成波长链，完成了对绝对距离的粗测和精测。本发明具有小数条纹测量精度高以及可一次完成从粗测到精测过程的特点，适于进行内、外尺寸测量，可用于制作微小尺寸测头。