使用基于机械放大器的惯性马达的精确定位系统

摘要

本发明涉及使用基于机械放大器的惯性马达的精确定位系统，该机械放大器包括第一放大惯性子组件(20)，该惯性子组件包括机械放大器(1)、压电激活构件(2)和配重件(3)。第二相对驱动子组件(21)，包括夹具(15)和附接到第一惯性子组件(20)的被夹持构件(24)。第一惯性子组件的非对称激励循环产生冲击力和被沿驱动方向(z)放大的运动，由此实现被夹持构件在夹具中的滑动和粘附的连续，以便产生点A和相对于点D的相对平移运动。机械放大器(1)增加了步长尺寸并减少了供应突入电流。点B相对于点D的精确和动态定位可以用使用放大器(1)的放大行程来实现。