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用于减少熔体污染和减少晶片污染的定向固化炉

摘要

一种定向固化炉,包括用于保持熔融硅的坩埚,以及覆盖该坩埚并且在熔融硅上方形成封闭部的盖。所述坩埚还包括在盖中的入口,该入口用于在熔融硅上方引入惰性气体以防止对熔融硅的污染。

著录项

  • 公开/公告号CN102159754B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-07-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MEMC电子材料有限公司;

    申请/专利号CN200980136897.8

  • 申请日2009-09-19

  • 分类号C30B11/00(20060101);C30B29/06(20060101);C30B28/06(20060101);

  • 代理机构11247 北京市中咨律师事务所;

  • 代理人马江立;秘凤华

  • 地址 美国密苏里州

  • 入库时间 2022-08-23 09:15:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-01-01

    专利权的转移 IPC(主分类):C30B 11/00 登记生效日:20181212 变更前: 变更后: 申请日:20090919

    专利申请权、专利权的转移

  • 2019-01-01

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C30B 11/00 变更前: 变更后: 申请日:20090919

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2013-07-31

    授权

    授权

  • 2013-07-31

    授权

    授权

  • 2011-09-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B11/00 申请日:20090919

    实质审查的生效

  • 2011-09-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 11/00 申请日:20090919

    实质审查的生效

  • 2011-08-17

    公开

    公开

  • 2011-08-17

    公开

    公开

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