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公开/公告号CN102208364B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-06-19
原文格式PDF
申请/专利权人 国家纳米科学中心;
申请/专利号CN201010135927.8
发明设计人 王良民;江潮;李德兴;
申请日2010-03-29
分类号H01L21/77(20060101);H01L51/40(20060101);
代理机构11280 北京泛华伟业知识产权代理有限公司;
代理人王凤华
地址 100190 北京市海淀区中关村北一条11号
入库时间 2022-08-23 09:15:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-06-19
授权
2011-11-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/77 申请日:20100329
实质审查的生效
2011-10-05
公开
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