法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-05
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 18/12 授权公告日:20130710 终止日期:20180712 申请日:20070712
专利权的终止
2013-07-10
授权
授权
2013-07-10
授权
授权
2009-09-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-09-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-07-22
公开
公开
2009-07-22
公开
公开
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机译: 使用涂布液和涂布液形成的金属化合物薄膜及其形成方法
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