一种基于流体电光材料的电光探头及用于探测电场的方法

摘要

本发明属于集成电路故障诊断技术领域，具体涉及一种新型的基于流体电光材料的电光探头及应用该电光探头对集成电路表面电场进行探测的方法。电光探头在沿入射光的方向上依次由透明基底、透明导电层、反射层、环状绝缘层、流体电光材料层和待测电路组成。本发明利用流体态的电光材料作为电信号转化为光信号的媒介，一方面解决了传统的固体探头与被测电路之间不可避免存在空气隙的问题，因此降低了电光转化损耗，提高电场测量的灵敏度；另一方面由于电光材料的可转动的特性，电光分子在电场作用下的取向效应从本质上提高了电场测量的灵敏度，本发明使最小可测量电压达到10mV量级。