制造光学非线性薄膜波导的方法和光学非线性薄膜波导

摘要

掺Ge的SiO₂薄膜12形成在玻璃基质(10)上，金属膜(14)形成在上面(S11至S13)。通过蚀刻金属膜(14)，形成彼此相距预定间隔的一对电极(14a，14b)(S14)。薄绝缘膜(16)形成在薄膜(12)及电极(14a，14b)上(S15)。施加紫外辐射的同时，在电极(14a，14b)之间施加高压，以便完成UV激发变换，给予通道部分(18)以光学非线性(S16)。通过控制施加到光学非线性的通道部分(18)上的电压，控制透过通道部分(18)的光。这样，在玻璃基质上形成传播单模光的光学非线性波导。