紫外激光干涉灼蚀金属微纳结构直写方法

摘要

本发明公开了紫外激光干涉灼蚀金属微纳结构直写方法，属于纳米光电子材料及器件技术领域。利用化学合成金纳米颗粒胶体，结合热处理工艺，通过紫外脉冲激光干涉灼蚀技术，直接作用于金属薄膜表面，实现了一种新的一维或者二维金属光子晶体的制备技术。本发明方法具有成本低、效率高，可制备大面积金属光子晶体等优点。