具有抗反射膜的塑料光学器件以及用来使抗反射膜的厚度均一的机构

摘要

在其塑料底料(10)的表面上涂有抗反射膜(10)的塑料光学器件中，此抗反射膜是多层膜，由先在此底料(10)的一侧淀积高折射材料的第一层(131)继以低折射材料的第二层再交迭地叠层以这些高、低折射材料而成。光学透镜底料(10)的表面有曲率，有多个这样的底料(10)水平地设置于可沿水平方向转动的圆盘支座(26)上。所用溅射膜淀积系统包括面对底料(10)表面的靶(31)。沿连接支座(26)的周边部与中央部的方向并在靶(31)与支座(26)之间设有起到掩模件作用的膜厚校正板以调节膜厚差。