垂直排列的硅线阵列的结构及其形成方法

摘要

一种由在硅(Si)基底上垂直排列的线阵列所组成的结构，和一种用于生产这种线阵列的方法。该线阵列用特别适合于把所接收到的光转换为能量的方向和密度在基底上被制造并且定位。被图案化的氧化层用来为显示出狭小的直径和长度的分布的线阵列做准备，并且为被控制的线位置做准备。