一种无衍射光束漂移的二维探测装置

摘要

本发明公开了一种无衍射光束漂移的二维探测装置，包括两个45o分光镜、两个成像透镜组、两个高速图像探测器和连接所述两个图像探测器的计算机处理系统；无衍射光束发生器发射的无衍射光首先入射到第一个45o分光镜，经分光为一路反射光和一路透射光，该一路反射光经其中一个成像透镜组后成像在其中一个高速图像探测器上；另一路透射光入射到另一个45o分光镜，经分光后的一路反射光经另一成像透镜组后成像在另一个高速图像探测器上，两个图像探测器同步探测出光束截面图像，并输入到计算机处理系统进行比较处理，探测出无衍射光的光束漂移。本发明的二维探测装置测量无衍射光束中心的平漂量和无衍射光束的角漂量的精度高，且能实时测量。