用于等离子体处理设备的等离子体增强器

摘要

用于等离子体处理设备的等离子体增强器，包括用于使辉光放电等离子体增强和/或点火以进行处理，尤其用来对工件(8)进行涂覆的装置(1，4)，具有至少一个由导电材料制成的空心体(2，5)。该空心体如此构造，使得在该空心体上施加电信号时，至少在特定压力范围和电压范围里，满足了在空心体内部放电点火的几何条件。空心体具有至少一个开口，通过该开口，载荷子可以流出到所述装置的周围里，以便在那里能够使等离子体点火和运行，或者增强在那里所存在的等离子体。所述装置包括使空心体与工件电连接的机构，从而空心体基本处在工件电位。