公开/公告号CN1125319C
专利类型发明授权
公开/公告日2003-10-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海光学精密机械研究所;
申请/专利号CN00116391.4
申请日2000-06-08
分类号G01J3/447;
代理机构上海智信专利代理有限公司;
代理人李兰英
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
入库时间 2022-08-23 08:56:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-08-08
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2003-10-22
授权
授权
2000-11-22
公开
公开
2000-10-25
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 平面型等离子体诊断装置,掩埋平面型等离子体诊断装置的晶圆型等离子体诊断装置,埋设了平面型等离子体诊断装置的静电卡盘
机译: 结构材料相互作用参数激光测试台的激光辐射
机译: 激光照射状态诊断方法,激光辐照状态诊断程序,激光照射状态诊断装置和激光照射装置