公开/公告号CN112042282A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-04
原文格式PDF
申请/专利权人 韩国标准科学研究院;
申请/专利号CN201980028803.9
申请日2019-04-15
分类号H05H1/00(20060101);H01J37/32(20060101);H01L21/683(20060101);
代理机构11579 北京锺维联合知识产权代理有限公司;
代理人罗银燕
地址 韩国大田市儒城区柯亭路267
入库时间 2023-06-19 09:06:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-16
授权
发明专利权授予
机译: 平面型等离子体诊断装置,掩埋平面型等离子体诊断装置的晶圆型等离子体诊断装置,埋设了平面型等离子体诊断装置的静电卡盘
机译: 平面型等离子体诊断仪,威化型等离子体诊断仪被埋藏,静电卡盘在平面型等离子体诊断仪中被埋藏
机译: 等离子体诊断装置及其测量晶片水平发出的光信号的方法