公开/公告号CN101292139B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-04-24
原文格式PDF
申请/专利权人 瓦里安半导体设备公司;
申请/专利号CN200680017474.0
申请日2006-05-16
分类号G01K1/08(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人刘锴;韦欣华
地址 美国麻萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:14:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-04-24
授权
授权
2008-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-10-22
公开
公开
机译: 用于产生原子和分子低杂质强离子束的共振方法。
机译: 产生强低杂质原子和分子离子束的共振方法
机译: 产生强低杂质原子和分子离子束的共振方法