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产生原子和分子的低杂质强离子束的共振方法

摘要

本发明包括用于产生以前不能以有用强度产生的高强度各种所需正和负分子和原子离子束的紧凑经济装置。另外,本发明提供与所需离子经常同时发射的伴随背景的基本拒斥。本发明的原理为共振离子转移,其中利用共振和非共振过程之间的能量差异增强或减弱粒子电荷改变过程。这种新的源技术与以下领域有关:加速器质谱分析,分子离子注入、定向中性束的产生和在磁场内产生离子束中和所需电子。具有商业重要性的一个例子是癸硼烷分子B10H14的电离,其中在癸硼烷分子和砷原子之间发生几乎完美的电离共振匹配。

著录项

  • 公开/公告号CN101292139B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2013-04-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 瓦里安半导体设备公司;

    申请/专利号CN200680017474.0

  • 申请日2006-05-16

  • 分类号G01K1/08(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人刘锴;韦欣华

  • 地址 美国麻萨诸塞州

  • 入库时间 2022-08-23 09:14:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-04-24

    授权

    授权

  • 2008-12-17

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-10-22

    公开

    公开

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