一种基于波长合束与偏振合束的双波长激光合束装置

摘要

本发明涉及半导体激光技术领域，公开了一种基于波长合束与偏振合束的双波长激光合束装置，包括水冷板；第一合束模块；第二合束模块；第一反射镜设置在第一合束模块与第二合束模块之间；第一波长合束镜设置在第一合束模块与第二合束模块之间；第三合束模块；第四合束模块；第二反射镜设置在第三合束模块与第四合束模块之间；第二波长合束镜设置在第三合束模块与第四合束模块之间；半波片安装在水冷板；偏振合束镜安装在水冷板；聚焦镜安装在水冷板。实现将多个合束模块发出的激光进行准直、合束、聚焦，会聚到一点，单台激光器实现蓝光、红外光双波长高功率及光输出，直接照射或耦合进光纤传输，结构紧凑，易于热管理，可用于激光加工等领域。

说明书

技术领域

本发明涉及半导体激光技术领域，特别涉及一种基于波长合束与偏振合束的双波长激光合束装置。

背景技术

近年来随着技术的进步，激光加工应用越来越广泛,多波长复合加工工艺发展迅速。如铜、镍等金属焊接工艺中，采用蓝光或绿光与红外光复合照射，可利用铜、镍等金属对蓝光、绿光吸收效率高的特点，提高焊接厚度，应用于新能源电池封焊等领域。

目前常用的双波长复合方式是采用两台不同波长的激光器，利用复合激光加工头将两波长激光复合在同一个焦点上对材料进行照射加工，如此技术制造的的设备通常尺寸较大。

随着半导体激光技术的进步，半导体激光合束技术日益成熟，半导体激光在加工领域应用越来越广泛。

故需对此作出改进。

发明内容

本发明解决的技术问题是针对上述现有技术中存在的缺陷，提供一种基于波长合束与偏振合束的双波长激光合束装置，其主要目的是通过将多组合束模块所发出的激光进行准直、合束以及聚焦，从而实现双波长复合以解决上述背景技术中提出的问题。

为解决上述技术问题，本发明采取的技术方案如下：一种基于波长合束与偏振合束的双波长激光合束装置，包括：水冷板；第一合束模块，所述第一合束模块安装在所述水冷板上，所述第一合束模块用于发射第一激光；第二合束模块，所述第二合束模块设置在所述第一合束模块的一侧，所述第二合束模块用于发射第二激光；第一反射镜，所述第一反射镜设置在所述第一合束模块与所述第二合束模块之间，所述第一反射镜用于反射第一激光；第一波长合束镜，所述第一波长合束镜设置在所述第一合束模块与所述第二合束模块之间，所述第一波长合束镜用于反射第二激光以及合束第一激光、第二激光；第三合束模块，所述第三合束模块安装在所述水冷板上，所述第三合束模块用于发射第三激光；第四合束模块，所述第四合束模块安装在所述第三合束模块的一侧，所述第四合束模块用于发射第四激光；第二反射镜，所述第二反射镜设置在所述第三合束模块与所述第四合束模块之间，所述第二反射镜用于反射第三激光；第二波长合束镜，所述第二波长合束镜设置在所述第三合束模块与所述第四合束模块之间，所述第二波长合束镜用于反射第四激光以及合束第三激光、第四激光；半波片，所述半波片安装在所述水冷板上，所述半波片设置在所述第二波长合束镜的出光方向；偏振合束镜，所述偏振合束镜安装在所述水冷板上，所述偏振合束镜用于将合束已合束后的第一激光、第二激光和已合束的第三激光、第四激光；聚焦镜，所述聚焦镜安装在所述水冷板上，所述聚焦镜设置在所述偏振合束镜的出光方向上。

进一步地，所述第一合束模块包括安装在所述水冷板上的第一阶梯热沉，安装在所述第一阶梯热沉上的一个以上的第一单巴半导体激光器、与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一快轴准直镜、与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一光束转换镜、与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一慢轴准直镜以及与所述第一单巴半导体激光器数量适配的第一反射镜单元，所述第一快轴准直镜安装在所述第一单巴半导体激光器的出光口，所述第一光束转换镜设置在所述第一快轴准直镜前侧，所述第一慢轴准直镜设置在所述第一光束转换镜的前侧，所述第一反射镜单元设置在所述第一慢轴准直镜的前侧，其中，所述第一阶梯热沉设有与所述第一单巴半导体激光器数量适配的阶梯。

进一步地，所述第二合束模块包括安装在所述水冷板上的第二阶梯热沉，安装在所述第二阶梯热沉上的一个以上的第二单巴半导体激光器、与所述第二单巴半导体激光器数量适配的第二快轴准直镜、与所述第二单巴半导体激光器数量适配的第二光束转换镜、与所述第二单巴半导体激光器数量适配的第二慢轴准直镜以及与所述第二单巴半导体激光器数量适配的第二反射镜单元，所述第二快轴准直镜安装在所述第二单巴半导体激光器的出光口，所述第二光束转换镜设置在所述第二快轴准直镜前侧，所述第二慢轴准直镜设置在所述第二光束转换镜的前侧，所述第二反射镜单元设置在所述第二慢轴准直镜的前侧，其中，所述第二阶梯热沉设有与所述第二单巴半导体激光器数量适配的阶梯。

进一步地，所述第三合束模块包括安装在所述水冷板上的第三阶梯热沉，安装在所述第三阶梯热沉上的一个以上的第三单巴半导体激光器、与所述第三单巴半导体激光器数量适配的第三快轴准直镜、与所述第三单巴半导体激光器数量适配的第三光束转换镜、与所述第三单巴半导体激光器数量适配的第三慢轴准直镜以及与所述第三单巴半导体激光器数量适配的第三反射镜单元，所述第三快轴准直镜安装在所述第三单巴半导体激光器的出光口，所述第三光束转换镜设置在所述第三快轴准直镜前侧，所述第三慢轴准直镜设置在所述第三光束转换镜的前侧，所述第三反射镜单元设置在所述第三慢轴准直镜的前侧，其中，所述第三阶梯热沉设有与所述第三单巴半导体激光器数量适配的阶梯。

进一步地，所述第四合束模块包括安装在所述水冷板上的第四阶梯热沉，安装在所述第四阶梯热沉上的一个以上的第四单巴半导体激光器、与所述第四单巴半导体激光器数量适配的第四快轴准直镜、与所述第四单巴半导体激光器数量适配的第四光束转换镜、与所述第四单巴半导体激光器数量适配的第四慢轴准直镜以及与所述第四单巴半导体激光器数量适配的第四反射镜单元，所述第四快轴准直镜安装在所述第四单巴半导体激光器的出光口，所述第四光束转换镜设置在所述第四快轴准直镜前侧，所述第四慢轴准直镜设置在所述第四光束转换镜的前侧，所述第四反射镜单元设置在所述第四慢轴准直镜的前侧，其中，所述第四阶梯热沉设有与所述第四单巴半导体激光器数量适配的阶梯。

进一步地，所述第一快轴准直镜、所述第一光束转换镜以及所述第一慢轴准直镜上镀有第一增透膜，所述第一反射镜单元上镀有第一反射镜单元反射膜，所述第一反射镜单元反射膜用于将第一激光反射至所述第一反射镜；所述第二快轴准直镜、所述第二光束转换镜以及所述第二慢轴准直镜上镀有第二增透膜，所述第二反射镜单元上镀有第二反射镜单元反射膜，所述第二反射镜单元反射膜用于将第二激光反射至所述第一波长合束镜；所述第三快轴准直镜、所述第三光束转换镜以及所述第三慢轴准直镜上镀有第三增透膜，所述第三反射镜单元上镀有第三反射镜单元反射膜，所述第三反射镜单元反射膜用于将第一激光反射至所述第二反射镜；所述第四快轴准直镜、所述第四光束转换镜以及所述第四慢轴准直镜上镀有第四增透膜，所述第四反射镜单元上镀有第四反射镜单元反射膜，所述第四反射镜单元反射膜用于将第四激光反射至所述第二波长合束镜。

进一步地，所述第一反射镜上镀有第一反射膜，所述第一反射膜用于将第一激光反射至所述第一波长合束镜；所述第二反射镜上镀有第二反射膜，所述第二反射膜用于将第三激光反射至所述第二波长合束镜。

进一步地，所述第一波长合束镜上镀有用于第二激光的第三反射膜以及第一激光的第五增透膜，所述第二波长合束镜上镀有用于第四激光的第四反射膜以及第三激光的第六增透膜。

进一步地，所述半波片镀有用于第三激光和第四激光的第七增透膜；所述偏振合束镜镀有用于第一激光、第二激光、第三激光和第四激光的第八增透膜；所述聚焦镜镀有用于第一激光、第二激光、第三激光和第四激光的第九增透膜。

进一步地，第一激光和第三激光波长为915nm，第二激光和第四激光波长为450nm。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：通过将多个合束模块所发出的第一激光、第二激光、第三激光以及第四激光进行合束、聚焦，能够在单台激光器上实现双波长高功率及光输出，能够直接照射或耦合进光纤传输，整体结构紧凑，易于热管理，可用于激光加工等领域。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是第一合束模块和第二合束模块的结构示意图。

图3是第一合束模块的局部部分结构示意图。

图4是第二合束模块的局部部分结构示意图。

图5是第三合束模块和第四合束模块的结构示意图。

图6是第三合束模块的局部部分结构示意图。

图7是第四合束模块的局部部分结构示意图。

图8是波长合束镜原理示意图。

图9是半波片原理示意图。

图10是偏振合束镜原理示意图。

图11是本发明的光路示意图。

附图标记：1.水冷板；2.第一合束模块；3.第二合束模块；4.第一反射镜；5.第一波长合束镜；6.第三合束模块；7.第四合束模块；8.第二反射镜；9.第二波长合束镜；10.半波片；11.偏振合束镜；12.聚焦镜；13.第一阶梯热沉；14.第一单巴半导体激光器；15.第一快轴准直镜；16.第一光束转换镜；17.第一慢轴准直镜；18.第一反射镜单元；19.第二阶梯热沉；20.第二单巴半导体激光器；21.第二快轴准直镜；22.第二光束转换镜；23.第二慢轴准直镜；24.第二反射镜单元；25.第三阶梯热沉；26.第三单巴半导体激光器；27.第三快轴准直镜；28.第三光束转换镜；29.第三慢轴准直镜；30.第三反射镜单元；31.第四阶梯热沉；32.第四单巴半导体激光器；33.第四快轴准直镜；34.第四光束转换镜；35.第四慢轴准直镜；36.第四反射镜单元。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细的说明。

通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“若干个”、“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

鉴于背景技术所记载的技术问题，如图1-11所示，提供了一种基于波长合束与偏振合束的双波长激光合束装置，包括：水冷板1；第一合束模块2，所述第一合束模块2安装在所述水冷板1上，所述第一合束模块2用于发射第一激光；第二合束模块3，所述第二合束模块3设置在所述第一合束模块2的一侧，所述第二合束模块3用于发射第二激光；第一反射镜4，所述第一反射镜4设置在所述第一合束模块2与所述第二合束模块3之间，所述第一反射镜4用于反射第一激光；第一波长合束镜5，所述第一波长合束镜5设置在所述第一合束模块2与所述第二合束模块3之间，所述第一波长合束镜5用于反射第二激光以及合束第一激光、第二激光；第三合束模块6，所述第三合束模块6安装在所述水冷板1上，所述第三合束模块6用于发射第三激光；第四合束模块7，所述第四合束模块7安装在所述第三合束模块6的一侧，所述第四合束模块7用于发射第四激光；第二反射镜8，所述第二反射镜8设置在所述第三合束模块6与所述第四合束模块7之间，所述第二反射镜8用于反射第三激光；第二波长合束镜9，所述第二波长合束镜9设置在所述第三合束模块6与所述第四合束模块7之间，所述第二波长合束镜9用于反射第四激光以及合束第三激光、第四激光；半波片10，所述半波片10安装在所述水冷板1上，所述半波片10设置在所述第二波长合束镜9的出光方向；偏振合束镜11，所述偏振合束镜11安装在所述水冷板1上，所述偏振合束镜11用于将合束已合束后的第一激光、第二激光和已合束的第三激光、第四激光；聚焦镜12，所述聚焦镜12安装在所述水冷板1上，所述聚焦镜12设置在所述偏振合束镜11的出光方向上。

水冷板1在使用中与水冷系统进行连接使用，其用于对第一合束模块2、第二合束模块3、第三合束模块6以及第四合束模块7进行热管理。第一反射镜4可通过紫外固化胶固定在第一合束模块2和第二合束模块3上，与第一合束模块2合束后光束成45°，第一合束模块2合束后光束经过第一反射镜4后90°转折。第一波长合束镜5通过紫外固化胶固定在第一合束模块2和第二合束模块3上，与第二合束模块3合束后光束及第一合束模块2经第一反射镜4反射后光束成45°，第一反射镜4反射后第一激光经过第一波长合束镜5后透过，第二合束模块3合束后第二激光经过第一波长合束镜5后90°反射，经过第一波长合束镜5后第一激光与第二激光光束合为一束，朝一个方向传输。第二反射镜8可通过紫外固化胶固定在第三合束模块6和第四合束模块7上，与第三合束模块6合束后光束成45°，第三合束模块6合束后光束经过第二反射镜8后90°转折。第二波长合束镜9通过紫外固化胶固定在第三合束模块6和第四合束模块7上，与第四合束模块8合束后光束及第三合束模块6经第二反射镜8反射后光束成45°，第二反射镜8反射后第三激光经过第二波长合束镜9后透过，第四合束模块4合束后第四激光经过第二波长合束镜9后90°反射，经过第二波长合束镜9后第三激光与第四激光光束合为一束，朝一个方向传输。半波片10通过紫外固化胶固定在水冷板1上，位于第二波长合束镜9的出光光路上，第三合束模块6、第四合束模块7经第二波长合束镜9合束后的激光光束经过半波片10，偏振方向旋转90°。偏振合束镜11通过紫外固化胶固定在水冷板1上，位于第一波长合束镜5、第二波长合束镜9出光光路正交位置，第一合束模块2、第二合束模块3经第一波长合束镜5合束后激光光束经过偏振合束镜11后透过；第三合束模块6、第四合束模块7经第二波长合束镜9合束后激光光束经过偏振合束镜11后90°反射，两光束合为一束传输。聚焦镜12通过紫外固化胶或螺丝固定在水冷板1上。聚焦镜12在偏振合束镜11合束后出光光路上，聚焦镜12可采用单片聚焦镜或者多片镜组成聚焦透镜组。

在实用的过程中，通过第一合束模块2产生第一激光，第一激光波长可为915nm，第二合束模块3产生第二激光波长，第二激光波长可为450nm,产生的第一激光波长经过第一反射镜4反射至第一波长合束镜5，第二激光波长发射至第一波长合束镜5,从而完成第一激光波长和第二激光波长的合束。通过第三合束模块6产生第三激光，第三激光波长可为915nm，第四合束模块7产生第四激光波长，第四激光波长可为450nm,产生的第四激光波长经过第二反射镜8反射至第二波长合束镜9，第二激光波长发射至第二波长合束镜9,从而完成第三激光波长和第四激光波长的合束。合束后的第三激光和第四激光通过半波片10，偏振方向旋转90°，进而合束后的第三激光和第四激光与合束后的第一激光和第二激光至偏振合束镜11，合束后的第一激光和第二激光透过偏振合束镜11，合束后的第三激光和第四激光透过偏振合束镜11后90°反射，从而将合束后的第一激光和第二激光与合束后的第三激光和第四激光合束。

通过上述的设计结构，四个合束模块所发出的第一激光、第二激光、第三激光以及第四激光进行合束、聚焦，能够在单台激光器上实现双波长高功率及光输出，能够直接照射或耦合进光纤传输，整体结构紧凑，易于热管理，可用于激光加工等领域。

如图2-3所示，所述第一合束模块2包括安装在所述水冷板1上的第一阶梯热沉13，安装在所述第一阶梯热沉13上的一个以上的第一单巴半导体激光器14、与所述第一单巴半导体激光器14数量适配的第一快轴准直镜15、与所述第一单巴半导体激光器14数量适配的第一光束转换镜16、与所述第一单巴半导体激光器14数量适配的第一慢轴准直镜17以及与所述第一单巴半导体激光器14数量适配的第一反射镜单元18，所述第一快轴准直镜15安装在所述第一单巴半导体激光器14的出光口，所述第一光束转换镜16设置在所述第一快轴准直镜15前侧，所述第一慢轴准直镜17设置在所述第一光束转换镜16的前侧，所述第一反射镜单元18设置在所述第一慢轴准直镜17的前侧，其中，所述第一阶梯热沉13设有与所述第一单巴半导体激光器14数量适配的阶梯。

以上提供了一种可实施的第一合束模块2结构，第一阶梯热沉13主要起热沉作用，在根据实际的使用场景中，其第一单巴半导体激光器14、第一快轴准直镜15、第一光束转换镜16、第一慢轴准直镜17以及第一反射镜单元18组成一组，在使用时，可选择所需的数量，在该实施例中，其采用三组，每组之间呈线性排布，对于第一快轴准直镜15可通过紫外固化胶固定在第一单巴半导体激光器14，第一光束转换镜16可通过紫外固化胶固定第一单巴半导体激光器14的前方，第一慢轴准直镜17可通过紫外固化胶固定第一光束转换镜16的前方，第一反射镜单元18可通过紫外固化胶固定第一慢轴准直镜17的前方。第一单巴半导体激光器14的发光点、第一快轴准直镜15、第一光束转换镜16、第一慢轴准直镜17、第一反射镜单元18同轴，即为光轴，其中第一反射镜4与光轴成45°，第一单巴半导体激光器14发出的光经过第一快轴准直镜15、第一光束转换镜16、第一慢轴准直镜17后获得准直光束，经过第一反射镜单元18后传播方向90°转折，n组光束经过90°转折后合束朝一个方向传输。其中，第一阶梯热沉13为阶梯结构，由n级阶梯构成，第一单巴半导体激光器14、第一快轴准直镜15、第一光束转换镜16、第一慢轴准直镜17、第一反射镜单元18共n组安装在第一阶梯热沉13每级阶梯上。

使用时，第一单巴半导体激光器14发出的光竖直方向为快轴方向，水平方向为慢轴方向。光束经过第一快轴准直镜15后快轴方向获得准直；再经过第一光束转换镜16，光斑沿光轴方向旋转90°，即快轴方向变为水平方向，慢轴方向变为竖直方向；再进一步经过第一慢轴准直镜17后，慢轴方向获得准直。

光束经过第一快轴准直镜15、第一光束转换镜16、第一慢轴准直镜17后，快轴与慢轴都获得准直，且两轴光束质量获得匀化。

再进一步经过第一反射镜4后传播方向90°转折。由于阶梯结构排列，每组光束竖直方向上尺寸小于2mm，3组光束经过90°转折后不经过第一反射镜4遮挡，合束朝一个方向传输。

如图2和图4所示，所述第二合束模块3包括安装在所述水冷板1上的第二阶梯热沉19，安装在所述第二阶梯热沉19上的一个以上的第二单巴半导体激光器20、与所述第二单巴半导体激光器20数量适配的第二快轴准直镜21、与所述第二单巴半导体激光器20数量适配的第二光束转换镜22、与所述第二单巴半导体激光器20数量适配的第二慢轴准直镜23以及与所述第二单巴半导体激光器20数量适配的第二反射镜单元24，所述第二快轴准直镜21安装在所述第二单巴半导体激光器20的出光口，所述第二光束转换镜22设置在所述第二快轴准直镜21前侧，所述第二慢轴准直镜23设置在所述第二光束转换22的前侧，所述第二反射镜单元24设置在所述第二慢轴准直镜23的前侧，其中，所述第二阶梯热沉19设有与所述第二单巴半导体激光器20数量适配的阶梯。

其中，第二合束模块3的结构布置和原理可参考以上第一合束模块2，对此不再进行赘述。第二合束模块3安装方式与第一合束模块2相同，第二阶梯热沉19方向与第一合束模块2的第一阶梯热沉13相反，合束后第二激光传输方向也与第一合束模块2的第一激光方向相反。第一合束模块2的第一阶梯热沉13与第二合束模块3的第二阶梯热沉19最低级阶梯紧贴，沿激光出光方向错开一段距离。如图2所示案例第一合束模块2与第二合束模块3的单巴半导体激光器出光方向相同，第二合束模块3沿出光方向较第一合束模块2错后一段距离。

第一反射镜4通过紫外固化胶固定在第一阶梯热沉13和第二阶梯热沉19最低级阶梯上。

如图5-6所示，所述第三合束模块6包括安装在所述水冷板1上的第三阶梯热沉25，安装在所述第三阶梯热沉25上的一个以上的第三单巴半导体激光器26、与所述第三单巴半导体激光器26数量适配的第三快轴准直镜27、与所述第三单巴半导体激光器26数量适配的第三光束转换镜28、与所述第三单巴半导体激光器26数量适配的第三慢轴准直镜29以及与所述第三单巴半导体激光器26数量适配的第三反射镜单元30，所述第三快轴准直镜27安装在所述第三单巴半导体激光器26的出光口，所述第三光束转换镜28设置在所述第三快轴准直镜27前侧，所述第三慢轴准直镜29设置在所述第三光束转换镜28的前侧，所述第三反射镜单元30设置在所述第三慢轴准直镜29的前侧，其中，所述第三阶梯热沉25设有与所述第三单巴半导体激光器26数量适配的阶梯。

如图5和图7所示，所述第四合束模块7包括安装在所述水冷板1上的第四阶梯热沉31，安装在所述第四阶梯热沉31上的一个以上的第四单巴半导体激光器32、与所述第四单巴半导体激光器32数量适配的第四快轴准直镜33、与所述第四单巴半导体激光器32数量适配的第四光束转换镜34、与所述第四单巴半导体激光器32数量适配的第四慢轴准直镜35以及与所述第四单巴半导体激光器32数量适配的第四反射镜单元36，所述第四快轴准直镜33安装在所述第四单巴半导体激光器32的出光口，所述第四光束转换镜34设置在所述第四快轴准直镜33前侧，所述第四慢轴准直镜35设置在所述第四光束转换镜34的前侧，所述第四反射镜单元36设置在所述第四慢轴准直镜35的前侧，其中，所述第四阶梯热沉31设有与所述第四单巴半导体激光器32数量适配的阶梯。

以上第三合束模块6和第四模块7的结构设置以及工作原理可参考第一合束模块2和第二合束模块3，对此不再进行赘述。

具体地，所述第一快轴准直镜15、所述第一光束转换镜16以及所述第一慢轴准直镜17上镀有第一增透膜，所述第一反射镜单元18上镀有第一反射镜单元反射膜，所述第一反射镜单元反射膜用于将第一激光反射至所述第一反射镜；所述第二快轴准直镜21、所述第二光束转换镜22以及所述第二慢轴准直镜23上镀有第二增透膜，所述第二反射镜单元24上镀有第二反射镜单元反射膜，所述第二反射镜单元反射膜用于将第二激光反射至所述第一波长合束镜5；所述第三快轴准直镜27、所述第三光束转换镜28以及所述第三慢轴准直镜29上镀有第三增透膜，所述第三反射镜单元30上镀有第三反射镜单元反射膜，所述第三反射镜单元反射膜用于将第一激光反射至所述第二反射镜；所述第四快轴准直镜33、所述第四光束转换镜34以及所述第四慢轴准直镜35上镀有第四增透膜，所述第四反射镜单元36上镀有第四反射镜单元反射膜，所述第四反射镜单元反射膜用于将第四激光反射至所述第二波长合束镜9。

所述第一反射镜4上镀有第一反射膜，所述第一反射膜用于将第一激光反射至所述第一波长合束镜5；所述第二反射镜8上镀有第二反射膜，所述第二反射膜用于将第三激光反射至所述第二波长合束镜。

所述第一波长合束镜5上镀有用于第二激光的第三反射膜以及第一激光的第五增透膜，所述第二波长合束镜9上镀有用于第四激光的第四反射膜以及第三激光的第六增透膜。

该第一波长合束镜5和第二波长合束镜9是一种二向色镜，第一波长合束镜5对第一合束模块2发出的光镀45°第五增透膜，对第二合束模块3发出的光镀45°第三反射膜。第二波长合束镜9对第三合束模块6发出的光镀45°第六增透膜，对第四合束模块7发出的光镀45°第四反射膜。

进一步地，所述半波片10镀有用于第三激光和第四激光的第七增透膜；所述偏振合束镜11镀有用于第一激光、第二激光、第三激光和第四激光的第八增透膜；所述聚焦镜镀12有用于第一激光、第二激光、第三激光和第四激光的第九增透膜。

以上增透膜以及反射膜在附图中未进行绘制。

以上并非对本发明的技术范围作任何限制，凡依据本发明技术实质对以上的实施例所作的任何修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明的技术方案的范围内。