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一种扩散炉多重温度控制装置

摘要

本发明涉及热电偶技术领域,具体涉及一种扩散炉多重温度控制装置;包括安装在炉体外部的三个温控热电偶、检测热电偶、控制器和深度调节单元,深度调节单元包括三个深度调节机构,每个深度调节机构均包括安装架、转动环、驱动组件、第一螺纹杆、限位杆、连接板和两个夹持组件,利用两个夹持组件将温控热电偶夹持牢固后,启动驱动组件,通过传动齿轮带动转动环在安装架上转动,由于转动环的内部螺纹连接有第一螺纹杆,使得第一螺纹杆在转动环的内部旋进,并配合限位杆对连接板进行限位,从而带动连接板向炉体的方向移动,调节温控热电偶的探测端在炉体的内部的深度,提高温控热电偶的检测范围。

著录项

  • 公开/公告号CN115930623A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2023-04-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 青岛育豪微电子设备有限公司;

    申请/专利号CN202310129049.6

  • 发明设计人 朱育平;孟祥飞;王花国;

    申请日2023-02-17

  • 分类号F27D21/00;

  • 代理机构广州新诺专利商标事务所有限公司;

  • 代理人林健明

  • 地址 266109 山东省青岛市城阳区流亭工业园

  • 入库时间 2023-06-19 19:16:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-04-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):F27D21/00 专利申请号:2023101290496 申请日:20230217

    实质审查的生效

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