公开/公告号CN115930623A
专利类型发明专利
公开/公告日2023-04-07
原文格式PDF
申请/专利权人 青岛育豪微电子设备有限公司;
申请/专利号CN202310129049.6
申请日2023-02-17
分类号F27D21/00;
代理机构广州新诺专利商标事务所有限公司;
代理人林健明
地址 266109 山东省青岛市城阳区流亭工业园
入库时间 2023-06-19 19:16:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-04-25
实质审查的生效 IPC(主分类):F27D21/00 专利申请号:2023101290496 申请日:20230217
实质审查的生效
机译: 扩散炉的扩散炉处理温度控制装置
机译: 用于控制半导体扩散炉系统中晶片温度的装置
机译: 用于控制半导体扩散炉系统中晶片温度的装置